等離子清洗機通過利用等離子的活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。等離子體清洗技術的主要特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。為了保證等離子清洗機能正常運行，用戶需要熟悉其正確的操作規程，下面我們來分享一下使用心得。
一、設置
1.連接真空泵電源到插座。
2.連接等離子清洗機電源到插座。
二、排除空氣
3.將樣品放入艙室內。
4.檢查針閥和三通閥是關閉的。
5.按住清洗艙艙門。
6.打開真空泵開關。大概幾分鐘后，艙室處于負壓狀態，真空狀態會讓艙門自
動關閉。
7.打開氣體鋼瓶上的閥門，將壓力調節在5~10PSI。
三、通入氣體
8.打開通向工藝氣體的三通閥
9.輕輕地打開針閥讓氣體通入30-60秒。
四、產生等離子體
10.打開清洗機前面板的電源開關。
11.將射頻發生器功率開關調至合適的功率。
12.通過艙門的玻璃窗觀察艙內，當產生輝光放電現象時，證明等離子體已激發。
13.調節針閥直到等離子體明顯較大，這大概相當于Z佳等離子生成的條件
14.樣品處理一定時間，處理結束后，將RF電源旋至OFF。
15.關閉清洗機開關。
16.關閉氣體鋼瓶閥門。
17.用1-3分鐘的真空泵抽出殘余的工藝氣體從艙室。
18.關閉針形閥。
19.關閉真空泵。
20.按住等離子清洗機艙門門并慢慢將三通閥打開至排氣狀態
21.當艙室排氣時，繼續按住艙門。當達到常壓后，離開艙門。
22.關閉三通閥。
23.取出樣品
以上就是等離子清洗機的正確操作方法，正確的使用有著至關重要的作用，不僅僅能增加設備的使用壽命，還能為企業節省生產成本達到雙贏目的。
